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電子槍是產生、加速和聚焦高能量密度電子束的裝置。它發(fā)射出具有一定能量、一定光束、速度和角度的電子束，又稱電子束。電子槍的應用包括非彈性電子散射和熒光屏。

在電子槍中，燈絲，通常是鎢絲，被電加熱，在表面產生大量熱離子電子。在陽極和陰極之間的高壓電場的作用下，熱電子被加速向陽極高速移動，獲得高動能。具體速度值取決于加速電壓，一般可以達到光速的三分之二左右。在聚焦線圈的作用下，電子束可以被聚焦，在導引線圈（又稱偏轉線圈）的作用下，電子束可以在一定范圍內偏轉掃描。電子槍的工作電壓通常在幾十到幾百千伏之間。為了防止高壓擊穿、電子束散射和能量損失，電子槍的真空度必須保持在6.67x10-2Pa以上。

電子槍有多種形式。根據電子槍結構的不同，可分為軸向電子槍（直線自加速電子槍）和環(huán)形電子槍（靜電場偏轉電子槍）。讓我們在下面簡要介紹一下。

1、軸向電子槍

陰極發(fā)射電子，陽極加速電子。 調制電極位于燈絲和陽極之間，用于調節(jié)和初始聚焦束電流。聚焦電極進一步聚焦調制電極收集的電子流，以獲得更精細的合適束斑。由于聚焦線圈的應用，線性電子槍可以達到100 kW/cm2以上的高能量密度，并且易于控制和調整。因此，大多數使用的高功率電子束應用是軸向電子槍。

2、環(huán)形電子槍

該環(huán)形電子槍結構簡單，成本低，可以與簡單的電源裝置一起工作。電子槍由環(huán)形燈絲、陽極、陰極、聚焦線圈和偏轉線圈組成。環(huán)形燈絲處于負高壓并用作熱電子發(fā)射源。在聚焦電極的定向反射和陽極的加速作用下，電子束在坩堝蒸發(fā)源的中心會聚。當使用環(huán)形電子槍時，被高能電子束轟擊的材料會發(fā)射出二次電子。

3、大電流軸向電子槍

軸流電子槍有一系列優(yōu)點，大大延長了電子槍的壽命，因此在國內外得到廣泛應用。大電流電子槍根據電子束的形狀可分為兩種：產生軸對稱固體電子束的“O”型電子槍和產生片狀和管狀電子束的“M”型電子槍。“O”型電子槍廣泛用于大功率電子束加工和冶煉設備，是一種應用廣泛的電子槍。不同的電導率會導致不同的設計方法，因此“O”型電子槍的設計可分為低導槍和高導槍兩種。